פוטוליתוגרפיה

בחדר במעבדה מאירים באור כתום כדי לא לפגוע בפוטורזיסט.

פוטוליתוגרפיה היא שיטה להדפיס צורות קטנות על שבב מחשב. פוטורזיסט הוא חומר רגיש לאור. שמים אותו על פרוסת סיליקון.

מקרינים אור דרך מסיכה. האור משנה חלק מהפוטורזיסט. ממסים את החלקים הרגילים במפתח, וכך נחשף הדוגמה על השבב.

הטכנולוגיה משמשת לייצור מעבדים וזיכרונות. משתמשים באור על־סגול. בשנת 2014 ייצרו קווים דקים של כ־22 ננומטר. זה מאפשר לשים מיליארדי טרנזיסטורים על שבב.

בתעשייה גם חותכים רדידי מתכת בשיטה כימית. אפשר להגיע לדיוק קטן מ־500 ננומטר ולעשות צורות תלת־ממדיות.


ריבוץ, שמים שכבת חומר על המצע.

ניקוי, מנקים את המצע לפני הציפוי.

ריבוץ פוטורזיסט, מצפים את המצע בחומר רגיש לאור.

חשיפה ופיתוח, מקרינים אור דרך מסיכה ומוסיפים מפתח שממס את החלקים הרצויים.

איכול, מסירים חלקים מהחומר כדי ליצור את הצורה.

הסרת פוטורזיסט, מסירים את שאריות החומר הרגיש.

בדיקת איכות, בודקים אם יש פגמים. במכונות אוטומטיות מזהים את המקומות הבעייתיים.

חוזרים על השלבים האלה כמה פעמים עד שמקבלים את השבב הסופי.